儀器包括立柱體（材料采用花崗巖、氣浮塊做為滑動體、氣模為介質實現無摩擦運動）測量裝置，驅動裝置（步進電機及傳動部分），氣源控制裝置（判斷氣壓及凈化），輔助夾具，打印機及電腦等（打印檢定記錄及數據處理）。